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Hitachi FT9500系列/FT9500X系列高性能X射线荧光镀层厚度测量仪

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型　　号：FT9500系列/FT9500X系列

名　　称：高性能X射线荧光镀层厚度测量仪

品　　牌：日立高新(Hitachi)

分　　类：材料与结构分析 > X射线系列

产品属性：主机

产品状态：停产

简　　述：

搭载了新型X射线聚光系统（毛细管），可发射实际照射直径为30um的高亮度X射线。可对引脚架、连接器、灵活基板、微型薄膜进行检测。

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X射线发生系统是X射线聚光系统(聚光导管)与X射线管相结合，从而在FT9500上产生光斑直径为Φ0.1mm以下高强度的X射线束。
在FT9500X中，我们开发了新型X射线聚光导管(单毛细管)，实现了FT史上最小的实际照射约为Φ30μm的高强度X光束照射。
为此，可以对以往由于X射线照射强度不足而导致无法得到理想精度的导线架、接插件、柔性线路板等微小零件及极薄镀层进行测量。

高性能X射线荧光镀层厚度测量仪 FT9500系列/FT9500X系列特长

X射线发生系统采用了聚光导管
因为采用了X射线聚光导管方式，所以可以得到以往10倍以上的X射线强度，从而可以提高微小样品的膜厚测量及有害物质测量的精度。
不需液氮的半导体检测器
在进行薄膜测量时，高分辨率的检测器是必不可缺的。FT9500的检测器不但可以达到高分辨率而且可以实现高计数率。同时，由于使用了电子冷却方式，所以无需液氮。
Φ30μm高强度X光束照射
FT9500X作为聚光导管方式的镀层测量仪，可进行最高达Φ30μm高强度X光束照射。另外，与FT9500相比，仅相当过去约10%的照射面积即可进行同等精度的测量。
多镀层的厚度测量
FT9500可以同时对纳米等级的电子材料上多镀层的各层厚度进行测量，最多五层镀层及组成。

高性能X射线荧光镀层厚度测量仪 FT9500系列/FT9500X系列规格

?	FT9500系列	FT9500X系列
测量元素	原子序数13 (Al)～83 (Bi)
X 射线管	管电压：50kV 管电流：1mA
检测器	半导体检测器(无液化氮)
X 射线聚光	聚光导管方式
X射线照射尺寸	Φ0.1mm	Φ30μm
样品观察	CCD摄像头(带变焦功能)
对焦	激光对焦
一次滤波器(电动切换)	选购项	有
X-ray Station	电脑 (OS: Windows) 19英寸液晶显示屏
打印机	喷墨打印机(选购项)
镀层厚度测量软件	薄膜FP法(最大5层、各层10种元素) 标准曲线法(单层、双层、合金镀层成分)
定量分析软件	块体FP法、块体标准曲线法	无
测量功能	自动测量、中心搜索、图像处理
修正功能	底材修正、已知样品修正
定性功能	KLM标记功能、比较显示
统计处理功能	配备MS-EXCEL?
报告生成功能	配备MS-WORD?
安全功能	样品门联锁防冲撞功能
使用电源	100V/15A 带地线的3孔插座